3차원 나노금형*을 고가의 노광장비를 사용하지 않고 값 싸게 대량 생산할 수 있는 원천기술이 개발됐다.

 

한국기계연구원(원장 최태인) 정준호 박사팀은 지식경제부 나노융합 산업원천기술개발 사업의 지원을 받아 KAIST(총장 서남표) 김상욱 교수팀과 공동으로 3차원 나노금형 제작기술 개발에 성공했다고 밝혔다.

 

3차원 나노금형 제작기술은 차세대 메모리, 나노센서 등을 값 싸게 제작할 수 있는 나노임프린트 공정의 핵심기술로서, 연구진은 금속 산화물 소재의 3차원 직접 나노임프린트 공정과 블록 공중합체 자기 조립공정(첨부자료 참조)을 융합해 30㎚급 3차원의 나노금형을 제작하는데 성공했다. 개발된 기술은 공정이 단순할 뿐만 아니라 대면적 3차원 곡면 상에 수십 나노미터 크기의 구조물을 제작할 수 있다는 특징을 가지고 있다.

 

한국기계연구원 김사라 박사는 “개발된 나노금형 제작 기술을 바탕으로 금속 나노와이어 기반의 투명전극 개발에 활용할 계획”이라고 밝혔다. 

 

연구결과는 2012년 5월 21일(월) 발간된 나노분야의 저명한 국제 학술지인 ‘small’(IF: 7.33)에 내부 표지논문으로 선정되었다.

 

* 나노금형: 나노임프린트 공정의 필수부품으로 나노크기의 패턴이 새겨진 금형
* 나노임프린트 공정: 나노금형을 사용하여 도장을 찍듯 기판 상에 나노패턴을 전사하는 공정으로, 전량 수입에 의존하는 수백억대 노광장비로도 구현이 어려운 10 ㎚이하의 패턴 형성도 가능한 공정