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성과정보

KIMM최우수연구상

주요성과현황

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Award for Best Research 2008년도 최우수 연구상

수상자

  • 성 명 : 이재종
  • 직 명 : 책임연구원
  • 전 화 : 042-868-7145
  • 부 서 : 나노융합기계연구본부
  • 메 일 : 메일보내기

기술개발 내용 및 특징

●UV 나노임프린트 장비 개발
-주요연구내용
*4인치용 웨이퍼레벨 sub-70mm급 UV 나노임프린트 장비 개발
*4인치 및 6인치용 웨이퍼레벨 sub-50mm급 Hybrid 나노임프린트 장비 기술이전 상용화 및 매출
*부산 MEMS/NANO Center 외 4.4억원

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