질의응답
제목 정전척의 Chucking force 측정
| 상태 | 답변 |
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| 작성자 | |
| 작성일 | 2021-11-04 |
| 조회 | 1450 |
| 내용 |
안녕하세요. 2018년도에 다른분이 질문하신것으로 확인되는데, 정전척의 Chucking force 측정이 가능할까요? 고온(0~500도) / 진공의 측정환경을 목표로 합니다. 감사합니다. |
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