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제목 산소 플라즈마 설비구축을 위한 관련 법령 및 설비환경 관련 문의 의 건

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상태 답변
작성자
작성일 2021-03-17
조회 1438
내용 안녕하세요,

저희 회사에서 산소 플라즈마를 이용한 에칭 환경을 구축하고 싶습니다.

그와 관련하여 설비를 구축할 때 지켜야 할 법령이나 설비환경 기준 같은 것이 있는지 문의 드립니다.

어느 법령이나 기준을 보면 되는지 해당 자료들을 열람 할 수 있는 곳이 어디인지 알려주시면 감사드리겠습니다.
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