| 사용자 매뉴얼 |
극초단 레이저 어블레이션 공정 모사 프로그램 메뉴얼 (21.03.29).pdf
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1. 프로그램 소개
소개
Input Parameters
| No. | 변수명 | 변수타입 | 단위 | 필수여부 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Specific heat (Cl) | double | J/m3·K | 필수 |
| 2 | Specific heat (Cl_kg) | double | J/kg·K | 필수 |
| 3 | Electron heat capacity (Ce) | double | J/m3·K | 필수 |
| 4 | Thermal conductivity (k) | double | W/m·K | 필수 |
| 5 | Electron thermal conductivity (ke) | W/m·K | ℃ | 필수 |
| 총23개 입력변수 | ||||
Output Parameters
| No. | 변수명 | 변수타입 | 단위 | 필수여부 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | Ablation depth | double | ㎛ | 필수 |
| 2 | Top diameter | double | ㎛ | 필수 |
| 3 | Bottom diameter | double | ㎛ | 필수 |
| 4 | End time | double | ps | 필수 |
| 5 | Fine time | double | ps | 필수 |
| 총 8개 출력변수 | ||||
2. 프로그램 입력화면
Material Properties
| 3376236 J/m3·K | |
| 376.812 J/kg·K | |
| 28800 J/m3·K | |
| 401 W/m·K | |
| 36.25 W/m·K | |
| 82600000 1/m | |
| 4.80E+16 W/m3·K | |
| 4600 m/s | |
| 300.3 KJ/mol | |
| 0.063546 kg/mol |
FEM Parameters
| 1E-08 m | |
| 1E-08 m | |
| 1.00E-14 s | |
| 1000 개 | |
| 1000 개 | |
| 500 개 | |
| 25 ℃ | |
| 1000 ℃ |
3. 프로그램 결과화면
극초단 레이저 어블레이션 공정 모사 프로그램.
Simulation of Ultrashort pulse laser ablation process.