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연구분야

첨단생산장비연구본부

에너지기계연구본부

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초정밀 가공장비기술

기술개요 (초)정밀 금형/부품, 초미세 전자소자를 제조하기 위한 초정밀 장비 설계/조립/제어·보정/지능화 기술 및 관련 공정기술
연구조직소개

연구성과

초정밀 가공장비기술

초정밀 가공장비기술을 나타내는 표로 요소기술,제품,시스템 정보를 제공

구분 요소기술 제품 시스템
2017

공간좌표 측정용 타겟 추적모듈공간좌표 측정용 타겟 추적모듈

3D 프린팅용 Auto Tracking 기술3D 프린팅용 Auto Tracking 기술

제조혁신 센서연동 모바일 앱 개발 플랫폼 기술제조혁신 센서연동 모바일 앱 개발 플랫폼 기술

 

 

 

 

MR댐핑제어 방식의 능동형 면진테이블MR댐핑제어 방식의 능동형 면진테이블

Crawling 기반 모바일 가공 장치 Crawling 기반 모바일 가공 장치

DED방식 대형 금속 3D 프린팅 시스템 DED방식 대형 금속 3D 프린팅 시스템

 

 

2016

유연반도체 핸들링/접속 핵심 요소기술유연반도체 핸들링/접속 핵심 요소기술

기능성 표면 텍스쳐링 기술기능성 표면 텍스쳐링 기술

Eco/Bio 기능성 패턴 가공 공구 기술Eco/Bio 기능성 패턴 가공 공구 기술

 

 

 

 

혈당측정용 저통증 채혈혈당측정용 저통증 채혈

 

머시닝센터 기반 복합가공기 머시닝센터 기반 복합가공기

 

 

2015

열압착본딩헤드용 초고속 박형히터 설계/제어 기술열압착본딩헤드용 초고속 박형히터 설계/제어 기술

의료부품용 패터닝 기술의료부품용 패터닝 기술

 

 

의료용 특수 바늘 및 안과수술용 칼날의료용 특수 바늘 및 안과수술용 칼날

 

 

의료부품 정밀 가공 시스템 의료부품 정밀 가공 시스템

BIS기반 자율지능형 사출성형 시스템BIS기반 자율지능형 사출성형 시스템

2014

능동보정형 초정밀 공기베어링 기술능동보정형 초정밀 공기베어링 기술

무인화 가공공정 최적화 및 자율대응 기술무인화 가공공정 최적화 및 자율대응 기술

 

나노정밀도 Hybrid 가공시스템 나노정밀도 Hybrid 가공시스템

 

선삭/레이저 복합 롤 금형 가공기선삭/레이저 복합 롤 금형 가공기

2013

대구경.초박형 3D 적층기술대구경.초박형 3D 적층기술

자기부상스테이지기술자기부상스테이지기술

3D 패키지 C2W 본더3D 패키지 C2W 본더
2012

기계장비 정밀도 시뮬레이션기계장비 정밀도 시뮬레이션

스마트 방진가공 능동 제어기술스마트 방진가공 능동 제어기술

Micro Powder FeederMicro Powder Feeder

Eco/Bio부품Eco/Bio부품

다축 가공용 가변 머신다축 가공용 가변 머신

렌즈조합시스템렌즈조합시스템

2011 롤금형/복합도광판롤금형/복합도광판
2010 고부하용 스핀들 설계/제작기술고부하용 스핀들 설계/제작기술

2m급 초정밀 롤 금형 가공기→120억원 매출2m급 초정밀 롤 금형 가공기→120억원 매출

고집적 3D 패키지 C2W 본더고집적 3D 패키지 C2W 본더

2009 대구경/초박형 웨이퍼 3D 적층 및 핸들링 기술대구경/초박형 웨이퍼 3D 적층 및 핸들링 기술
2008

유정압 스핀들 유정압 스핀들

폰카메라 렌즈모듈→100억원 매출폰카메라 렌즈모듈→100억원 매출

BT μ-Factory→20억원 매출BT μ-Factory→20억원 매출
2007 μ-Factory→최초시연μ-Factory→최초시연
2006 초정밀 가공장비용 운동요소 설계 및 해석,오차보정기술→특허등록 10건초정밀 가공장비용 운동요소 설계 및 해석,오차보정기술→특허등록 10건 초소형 공작기계→50억원 매출초소형 공작기계→50억원 매출 고정밀 프로브 스테이션→950억원 매출고정밀 프로브 스테이션→950억원 매출
2005 장축정밀도측정장축정밀도측정
2004 초정밀 평면 스테이지초정밀 평면 스테이지
2003 능동자기베어링→50억원 매출능동자기베어링→50억원 매출 터보분자펌프→50억원 매출터보분자펌프→50억원 매출 대면적 가공기→5억원 매출대면적 가공기→5억원 매출
2001 대구경 웨이퍼 LPM 설계기술대구경 웨이퍼 LPM 설계기술 화합물 반도체 웨이퍼 본더화합물 반도체 웨이퍼 본더 본딩 공정 통합 운용 시스템 개발본딩 공정 통합 운용 시스템 개발
2000 웨이퍼 본딩 헤드 설계기웨이퍼 본딩 헤드 설계기술 세라믹 초정밀 공기베어링 스테이지세라믹 초정밀 공기베어링 스테이지
1998 다공질공기베어링다공질공기베어링

기술응용분야

  • 대면적 미세가공장비대면적 미세가공장비
  • 복합가공시스템복합가공시스템
  • Desktop 크기의 이동형 고집적, 초소형 미세 제조 시스템기술Desktop 크기의 이동형 고집적, 초소형 미세 제조 시스템기술
  • 대구경/초박형 차세대 3D 패키지 제조 및 검사 장비대구경/초박형 차세대 3D 패키지 제조 및 검사 장비
  • 조명용 LED Encapsulation 장비조명용 LED Encapsulation 장비
  • SST 복합 가공기SST 복합 가공기
  • Eco/Bio부품 융복합 가공시스템Eco/Bio부품 융복합 가공시스템
  • 대구경 복합패키지 Stack 장비대구경 복합패키지 Stack 장비
  • 가상공작기계 및 지능화기술가상공작기계 및 지능화기술

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