메인으로 이동

한국기계연구원

등록

1020050130745

2005-12-27

1006872960000

2007-02-20

H10P 72/00|B08B 3/12

본 발명은 웨이퍼를 회전시키면서 세정할 수 있는 자전형 웨이퍼 캐리어와 이를 구비한 초음파 세정장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 자전형 웨이퍼 캐리어는 A) 양 측판과, 상기 양 측판 사이에 가설된 웨이퍼 지지용 걸대와, 상기 양 측판의 바깥면에 돌출된 접속부로 이루어진 캐리어 ; B) 상기 접속부에 일단부가 각각 연결되는 지지간과, 상기 지지간의 타단부에 일측이 회전 자유롭게 설치되고 타측에는 종동기어가 설치된 회전 로드와, 상기 회전 로드의 타측이 회전 자유롭게 접속된 하우징으로 이루어진 지지체 ; C) 상기 지지체와 캐리어 사이에 개재된 동력전달기구 ; 및 D) 상기 하우징에 일단부가 회전 자유롭게 결합되는 구동축과, 상기 종동기어에 맞물릴 수 있도록 상기 구동축의 일단부에 장착된 구동기어로 이루어진 구동기구 ; 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 세정장치는 통상적인 구조의 초음파 세정조에 상기 구성의 자전형 웨이퍼 캐리어가 설치됨으로써 구현된다. 웨이퍼, 캐리어, 회전형, 자전형, 초음파, 메가소닉, 세정, 세정장치, 동력 전달기구, 구동기구, 베벨기어, 타이밍벨트, 체인

KIPRIS에서 전문보기 새창열림

기술이전 상담신청