특허보유현황
나노급 유체소자 여과용 필터 및 그 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020060009258
출원일
2006-01-31
공개번호
1020070078873
공개일
2007-08-03
등록번호
1008248190000
등록일
2008-04-17
IPC 분류
B01D 39/02
대표도면
요약
본 발명은 목적은 마이크로 채널 내부에 복수 개의 나노급 구체를 함유한 용액을 공급하여 용액이 증발할 때 발생된 표면장력에 의해 구체들이 자기정렬방식으로 응집되도록 하여 각 구체들 사이에 복수 개의 나노포어를 형성시켜 필터의 제조공정을 단순화하고 에칭에 필요한 고가의 마스크를 사용하지 않아도 되므로 제조비용을 줄일 수 있는 나노급 유체소자 여과용 필터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 이러한 나노급 유체소자 여과용 필터는, 유체가 통과할 수 있도록 터널형 채널이 형성된 마이크로 기판; 및 복수 개의 나노급 구체가 상기 채널 내부에 서로 밀접하게 접촉된 상태로 수납되어 각 구체들 사이에 나노급 포어를 형성하는 구체 어셈블리;를 포함하고, 본 발명의 나노급 유체소자 여과용 필터의 제조방법은, 나노급 크기를 갖는 복수 개의 구체를 용액에 혼합시키고 이들을 마이크로 기판에 형성된 채널 내부에 위치시키는 단계; 상기 마이크로 채널에 위치된 용액을 증발시켜 이 용액에 혼합된 각 구체들이 용액의 표면장력에 의해 서로 응집되어 스스로 조립되게 하고, 상기 스스로 조립된 각 구체들 사이에 복수 개의 포어를 형성시키는 단계;를 포함한다. 나노유체필터, 스스로 조립, 나노구체, 표면장력
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