특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
마이크로 압력센서
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020060027536
출원일
2006-03-27
공개번호
1020070096655
공개일
2007-10-02
등록번호
1007737590000
등록일
2007-10-31
IPC 분류
G01L 9/00|G01L 7/08
대표도면
요약
본 발명은 마이크로 압력센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 압력도입챔버로부터 도입된 압력에 의해 탄성변형된 전도성을 갖는 다이어프램과, 환형 내지는 바형으로 확장 형성되어 상단웨이퍼의 하단면 중앙부에 증착 고정되어 압력스위치 어레이를 구성하는 금속박막과의 접촉에 의한 전기 저항 변화를 이용하여 압력을 검출함은 물론, 환형 내지는 바형 금속박막과 저항체의 사이 간격을 조절함으로써 출력특성의 선형화와 더불어 압력을 검출하는 새로운 측정원리를 제안하고 시뮬레이션에 기초한 특성파악을 통해, 기존의 반도체 압력센서를 대체하여 원천기술을 확보할 수 있는 마이크로 압력센서에 관한 것이다. 압력, 센서, 챔버, 다이어프램, 실리콘, 글래스, 웨이퍼, 금속박막, 저항체
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