특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
선형보정 마이크로 압력센서
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020060027537
출원일
2006-03-27
공개번호
1020070096656
공개일
2007-10-02
등록번호
1008280670000
등록일
2008-04-30
IPC 분류
G01L 9/00|G01L 27/00|G01L 19/00|B81C 1/00
대표도면
요약
본 발명은 선형보정 마이크로 압력센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유연성을 갖는 다이어프램 상부에 형성되어 압력에 의해 탄성변형되는 금속박막과, 중심부로 갈수록 단면적이 커지도록 길이방향으로 만곡지게 형성되되 상단웨이퍼의 하단면 중앙부에 증착 고정되는 저항체와의 접촉에 의한 전기 저항 변화를 이용하여 압력을 검출함은 물론, 저항체의 박막 두께는 일정하되 부분별 단면적을 보정하여 곡선의 만곡도를 조절함으로써 출력전류값의 선형화를 도모하는 새로운 측정원리의 제안을 통해, 기존의 반도체 압력센서를 대체하여 원천기술을 확보할 수 있는 선형보정 마이크로 압력센서에 관한 것이다. 압력, 센서, 챔버, 다이어프램, 실리콘, 글래스, 웨이퍼, 금속박막, 저항체
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