특허보유현황
극초단 펄스 레이저 가공 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020060035683
출원일
2006-04-20
공개번호
1020070103842
공개일
2007-10-25
등록번호
1007872360000
등록일
2007-12-12
IPC 분류
H01S 3/101|H01S 5/026|H01S 3/10|G02B 27/10
대표도면
요약
본 발명에 따른 극초단 펄스 레이저 가공 장치는 열적 물리적 손상이 없는 정밀한 가공을 수행할 수 있도록, 레이저 펄스를 발생시키는 레이저 발생부와, 상기 발생부에서 발생한 레이저 펄스를 분할하여 서로 다른 길이의 경로로 진행시키는 분할부와, 상기 분할부에서 출사된 레이저 펄스의 진행 경로를 병합하는 병합부, 및 진행 경로가 병합된 상기 레이저 펄스를 이용하여 재료를 가공하는 가공부를 포함한다. 극초단 펄스 레이저, 마스크, 편광변경부재, 빔 분할기, 편광판
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