특허보유현황
깊은 제거를 이용하여 원하는 패턴 두께 혹은 높은종횡비를 가지는 고해상도 패턴 형성 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020060039985
출원일
2006-05-03
등록번호
1006909300000
등록일
2007-02-27
IPC 분류
H10P 76/00|H10P 14/40
대표도면
요약
본 발명에 따른 패턴형성 방법은 반고체상 혹은 고체상의 재료로 이뤄진 단층 혹은 다층의 희생필름을 기판상에 부분 혹은 전면 부착 후에 레이저 등의 집속 가능한 에너지 빔을 이용하여 기능성 재료가 채워질 부분을 선가공한 후에, 잉크젯 등의 방식으로 기능성 재료를 상기 선가공된 곳에 채워넣은 후 건조시킨 후에, 희생필름을 제거함으로서 최종적으로 원하는 패턴을 형성시킬 수 있다는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 프리패턴이 형성된 기판은 기능성 재료의 낭비를 최소화할 수 있으며 높은 종횡비(패턴 두께/패턴 선폭)를 가지는 고해상도의 패턴을 얻을 수 있다. 특히, 기능성 재료의 전달과 재료 사용률에 효과적인 수단인 잉크젯 방식 단독으로는 얻기 힘든 고해상도 패턴을 레이저 등의 집속 가능한 에너지 빔의 고해상도화 특징을 접목함으로서, 고해상도의 패턴을 높은 공정효율로 생산할 수 있으며, 원하는 최종 패턴 두께를 희생필름을 사용함으로써 얻을 수 있다. 고해상도 패턴, 높은 종횡비
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