특허보유현황
전해연마지그 및 이를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020060045386
출원일
2006-05-20
등록번호
1007670470000
등록일
2007-10-08
IPC 분류
G03F 7/20|H10P 52/00|B24B 7/22|B24B 21/04|C25D 5/22|C25F 3/00|C25D 5/00
대표도면
요약
본 발명은 메탈마스크를 수용한 상태로 전해연마장치 내부에 삽입 고정되어 메탈마스크에 형성된 버어(Burr) 및 이물이 제거되도록 하는 전해연마지그 및 이를 이용한 메탈마스크의 전해연마방법에 관한 것이다 본 발명은 전해연마장치 내부에서 전해연마액에 담긴 상태로 설치되고, 메탈마스크(M) 일측을 구속하여 전해연마장치 내부에서 메탈마스크(M)의 움직임을 구속하는 전해연마지그(100)에 있어서, 상기 전해연마지그(100)는, 상기 메탈마스크(M)의 전면 및 후면 테두리와 접촉하여 메탈마스크(M)가 변형되지 않도록 규제하는 변형방지수단(120)과, 상기 변형방지수단(120) 외측에 구비되어 외관 일부를 형성하고 상기 변형방지수단(120)의 하중을 지지하는 하중지지수단(140)과, 상기 변형방지수단(120)의 일부가 하중지지수단(140) 내부에서 직선 왕복운동하도록 안내하는 운동안내수단(160)을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 이와 같은 구성에 의하면, 메탈마스크의 품질이 향상되는 이점이 있다. 메탈마스크, 전해연마, 지그(JIG), 버어(burr), 연마용액
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