특허보유현황
초음파를 이용한 세정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020060102511
출원일
2006-10-20
공개번호
1020080035890
공개일
2008-04-24
등록번호
1008523960000
등록일
2008-08-08
IPC 분류
B08B 3/12|B08B 3/04
대표도면
요약
본 발명은 초음파를 이용한 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 이물질을 유리시키기 위해, 진동자를 일측에 구비하는 하우징과, 상기 진동자의 일면에 결합되어 진동자로부터 발진되는 초음파를 웨이퍼의 상면에 도포되는 세정액에 전달하는 로드를 포함하되, 상기 진동자는 니어필드와 파필드로 이루어지는 확산층에 압전소자를 접착하고, 상기 로드는 진동자에서 발생된 초음파를 증폭시키기 위해 직경이 감소하도록 하여 세정하고자 하는 웨이퍼의 이물질을 효과적으로 제거할 수 있도록 하는 초음파를 이용한 세정장치에 관한 것이다. 초음파, 세정, 진동자, 니어필드, 파필드, 압전소자, 로드, 반도체, 웨이퍼
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