특허보유현황
곡면 기층의 노광 장치, 이를 이용한 곡면 기층의 패터닝방법 및 그 방법으로 패터닝된 곡면 기층
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070004580
출원일
2007-01-16
등록번호
1008373370000
등록일
2008-06-04
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
곡면 기층에 패터닝하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 곡면 기층의 패터닝방법은 곡면 기층, 유리 기판 및 미리 설정된 패턴을 갖는 마스크를 준비하는 단계, 상기 마스크를 상기 유리 기판의 하부에 부착하는 단계, 감광액을 상기 곡면 기층의 표면에 코팅하는 단계, 상기 곡면 기층을 상기 마스크에 근접 배치시키는 단계, 및 회전 노광 장치를 이용하여 상기 곡면 기층에 코팅된 감광액을 노광하는 단계를 포함한다. 곡면기층, 패터닝, 마스크, 포토리소그래피, 회전노광장치
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