특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
대면적 박막 코팅방법 및 그 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070011602
출원일
2007-02-05
공개번호
1020080073068
공개일
2008-08-08
등록번호
1008663230000
등록일
2008-10-27
IPC 분류
H10D 48/042|H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계, 실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 기층의 일면에서 회전 전진시켜 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계, 및 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee) 또는 블레이드(blade)를 위치시키고 스퀴지 또는 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 도포된 상태의 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계에 따라 작업이 이루어진다. 이와 같이 본 발명의 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치는 바 코터, 스퀴지 또는 블레이드를 이용함으로써, 감광액 또는 페이스트와 같은 액체 화학 물질을 일정 넓이 이상의 대면적 기층에 용이하게 도포할 수 있을 뿐만 아니라, 기층에 도포된 액체 화학 물질의 도포 두께도 10um 이하의 박막으로 설정할 수 있는 효과가 있다. 바 코터(Bar coater), 스퀴지, 닥터 블레이드, 박막, 박막코팅, 대면적 도포
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