특허보유현황
미세패턴 불량 교정방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070013858
출원일
2007-02-09
등록번호
1008100430000
등록일
2008-02-27
IPC 분류
H10P 76/00|H10P 74/00|H10P 95/00
대표도면
요약
본 발명은, 기판에 형성된 다수의 패턴형성영역에 형성된 미세패턴 중 불량 미세패턴을 교정하는 미세패턴 불량 교정방법에 관한 것으로서, 상기 미세패턴형성 영역에 대응하도록 개구된 레이져통과구를 갖는 마스크를 상기 미세패턴 상에 배치하는 단계와; 상기 불량 미세패턴에 대응하는 상기 레이져통과구로 레이져를 조사하여 상기 불량 미세패턴을 제거하는 단계와; 상기 불량 미세패턴이 제거된 패턴형성영역에 정상적인 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 미세패턴의 불량 영역을 빠르고 정밀하게 보정함과 동시에, 미세패턴 불량 영역 확대를 미연에 방지할 수 있는 미세패턴 불량 교정방법이 제공된다. 미세패턴, 불량, 교정, 보정, 마스크, 레이져
전문보기
기술이전 상담신청