특허보유현황
LCD 감광막 제거용 혼합가스 분사노즐
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070029932
출원일
2007-03-27
등록번호
1008110680000
등록일
2008-02-29
IPC 분류
H10P 52/00|H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐에 관한것으로 상세하게는 감광막제거용 가스 분사노즐에 있어서, 길이방향으로 일정 길이를 가지며, 외곽벽에서 일정 간격 내측으로 일정 깊이의 홈이 형성되고, 상기 홈의 중앙에 길이방향으로 일정높이의 요철부가 형성되어지고 중심에 길이방향으로 가스가 분사되는 분사홀이 형성되어지고, 상기 홈과 외측벽 간에 가스가 새어나가지 않도록 하는 패킹이 삽입되는 패킹홈이 형성되며, 상기 홈의 길이방향 양단에 홈까지 외측벽을 관통하는 배출구가 형성되는 분사노즐과; 상기 분사노즐의 상측에 결합되며, 상기 분사노즐에 가스를 주입하는 다수개의 주입노즐이 형성되어진 노즐덮개를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD감광막 제거용 혼합가스 분사노즐에 관한것이다. 분사노즐, 감광막제거, 가스, LCD기판, 반도체
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