특허보유현황
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LCD기판의 감광막제거설비와 이를 이용한감광막제거방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070029933
출원일
2007-03-27
등록번호
1008313150000
등록일
2008-05-15
IPC 분류
G02F 1/13|H10P 72/00|H10P 72/30|B08B 3/02|G03F 7/30
대표도면
요약
본 발명은 LCD기판의 감광막제거설비를 이용한 감광막제거방법에 관한것으로 상세하게는 LCD기판의 감광막을 제거하는 제거 설비를 이용한 방법에 있어서, LCD기판을 제거공정실 내부로 이송시키는 기판투입단계와; 상기 투입된 LCD기판을 제거공정실 내부의 LCD기판 이송롤러 하측에 설치된 고온수 분사노즐로 고온수를 LCD기판 하측에 분사하여 LCD기판을 가열하는 기판가열단계와; 상기 가열된 LCD기판의 상측에 설치된 가스분사노즐에서 감광막제거가스를 분사하여 감광막을 제거하는 감광막제거단계와; 상기 LCD기판을 이송롤러로 좌우 왕복 이송하여 감광막을 제거하는 기판왕복이송단계와; 상기 왕복운동으로 감광막이 제거된 LCD기판을 상기 제거공정실 일측에 밀착 구성된 세정공정실로 이송하여 LCD기판 이송롤러의 상하측에 설치된 세정수 분사노즐로 세정수를 분사하여 LCD기판을 세정하는 기판세정단계와; 상기 세정공정실에서 세정된 LCD기판을 에어나이프를 통과시키며 물기를 제거하여 제거공정실로 재 이송시켜 감광막제거단계와 기판왕복이송단계 및 기판세정단계를 다수 반복하는 반복순환단계와; 상기 반복순환단계를 거쳐 감광막이 제거된 LCD기판을 세정공정실에서 세정하여 타측의 에어나이프를 통과하면 물기를 제거하여 LCD기판을 배출로를 통해 배출하는 기판배출단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD기판의 감광막제거설비를...(이하생략)
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