특허보유현황
탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070043126
출원일
2007-05-03
공개번호
1020080097807
공개일
2008-11-06
등록번호
1008735160000
등록일
2008-12-04
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 소프트 리소그래피 공정에 사용되는 미세접촉 인쇄장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치에 관한 것이다. 본 발명은 하부에서 상부로 거동하는 미세접촉 스탬핑 방식으로 개선함으로써, 패턴 형상의 파괴없이 보다 미세한 패턴을 전이시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 볼 스크루 또는 모터에 의해 변위 제어하는 종래기술과 달리 피에조 엑츄에이터(Piezo actuator)를 이용함으로써 변위를 보다 미세하게 제어한다. 또한, 본 발명은 CCD 카메라를 이용함으로써 탄성중합체 스탬프와 기판과의 위치를 보다 정교하게 정렬할 뿐 아니라, 다층(multi-layer)공정을 가능하게 한다. 소프트 리소그래피, 탄성중합체, 미세접촉인쇄, 스탬프, 압전 엑츄에이터, 정렬시스템, 상하거동, 다층공정
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