특허보유현황
초음파장치 모니터링 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070052883
출원일
2007-05-30
등록번호
1008669320000
등록일
2008-10-29
IPC 분류
G01H 11/06|H10P 74/00
대표도면
요약
본 발명은 초음파장치의 진동자로부터 압전소자의 탈착과 진동자의 특성변화 및 전선단락으로 인한 임피던스 변화에 따른 전류와 주파수의 변화를 이용하여 초음파장치의 이상 작동 및 고장 여부를 판별할 수 있도록 하는 초음파장치 모니터링 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 초음파장치 모니터링 방법은, 초음파장치를 모니터링 하는 방법에 있어서, 상기 진동자에 일정 주파수의 전기 신호를 인가하는 단계와, 상기 인가된 전기 신호에 따른 전류 및 주파수를 측정하는 단계와, 상기 측정된 전류 및 주파수를 통해 세정장치의 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계를 포함하여 구성된다. 초음파, 세정, 모니터링, 임피던스, 저항, 주파수, 전류
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