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한국기계연구원

등록

1020070053831

2007-06-01

1008856700000

2009-02-19

H10P 76/00

본 발명은 챔버 내에서 기판을 자동으로 이송시키면서 다양한 온도와 압력 하에 임프린팅 스탬프의 패턴을 한 번 또는 연속적으로 전사시킬 수 있는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치에 관한 것으로, 상기 챔버의 상판에 설치되어서 다수의 단계로 스탬프와 상기 기판 사이에 압력을 가하는 가압부재; 상기 스탬프를 고정시켜주는 고정부재; 상기 고정부재에 장착되어서 상기 스탬프를 균일하게 가열하는 제1 핫플레이트; 상기 기판을 스탬프 패턴 전사 위치까지 이동시키고 고정시키주며, 패턴이 전사된 기판을 챔버의 외부로 배출시켜주는 이송부재; 상기 이송부재의 하부에 설치되어서 상기 기판을 균일하게 가열하는 제2 핫플레이트; 상기 챔버의 하판과 상기 이송부재 사이에 설치되어서 상기 스탬프와 기판 사이의 평행도를 맞춰주는 레벨러; 상기 가압부재에 의해 상기 기판을 상하로 이동시킬 때에 좌우방향의 흔들림을 막아주는 균형유지부재; 및 시스템의 구동 및 동작을 제어하는 제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하며, 고온과 고압만을 사용할 때의 작업 한계성을 극복할 뿐만 아니라 일정한 크기의 스탬프를 반복적인 패턴전사와 패턴전사가 끝난 기판을 한 스텝씩 이동시킬 수 있어 대면적 패턴전사가 가능하게 된다. 엠보싱, 임프린팅 스탬프, 기판, 핫플레이트, 전사

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