특허보유현황
패턴이 형성된 연성동박적층필름의 제조방법
출원인
한국기계연구원|풍원정밀(주)
등록상태
등록
출원번호
1020070070257
출원일
2007-07-12
등록번호
1008674190000
등록일
2008-10-31
IPC 분류
C23C 28/00|C25D 21/08|C23C 18/16|C23C 18/32|C23C 18/38|C23C 18/42|H05K 3/18
대표도면
요약
본 발명은 폴리이미드필름의 상면에 금속염 밀착층과 감광성 촉매층을 이용하여 패턴이 형성된 연성동박적층필름의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 패턴이 형성된 연성동박적층필름의 제조방법은, 폴리이미드필름(100)의 외면에 이물을 제거하는 수세단계(S100)와, 이물이 제거된 폴리이미드필름(100)의 표면을 개질하는 전처리개질단계(S200)와, 개질된 폴리이미드필름(100)의 표면에 이산화티타늄으로 이루어진 밀착층(120)을 형성하는 밀착층형성단계(S300)와, 상기 밀착층(120)의 상면에 촉매층(130)을 도포하는 촉매층도포단계(S400)와, 상기 밀착층(120) 상면에 도포된 촉매층(130)에 자외선을 조사하여 노광하는 촉매층노광단계(S500)와, 상기 촉매층(130)의 일부를 제거하여 패턴을 형성하는 패턴형성단계(S600)와, 상기의 단계를 거쳐 형성된 반제품의 표면에 금속을 도금하여 금속박막층(160)을 형성하는 박막층형성단계(S700)로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 이와 같은 구성에 의하면, 폴리이미미드필름의 상면에 패턴의 형성이 가능한 이점이 있다. 폴리이미드, 밀착층, 촉매층, 패턴, 에칭, 동박필름, 자외선(UV)
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