특허보유현황
적층형 PZT를 이용한 압전펌프
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070076363
출원일
2007-07-30
등록번호
1008688980000
등록일
2008-11-10
IPC 분류
F04B 43/04|F04B 43/02|F04B 53/16
대표도면
요약
본 발명은 유체 펌핑실에 구비된 다수의 금속 다이어프램의 변위를 적층형 PZT의 순차적 변위를 통해 조절하는 방식으로 체크밸브 없이 고압의 미소 유체를 이송 할 수 있도록 하는 적층형 PZT를 이용한 압전펌프에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 적층형 PZT를 이용한 압전펌프는, 몸체와 상기 몸체의 일측에 형성된 유체 흡입공과 상기 몸체의 타측에 형성된 유체 토출공과 상기 각 유체 흡입공과 인접한 유체 토출공 사이에 형성된 유로를 각각 가지는 다수의 유체 펌핑실과, 상기 각 유체 흡입공 중 최전단 유체 흡입공에 연결된 유체 흡입관과, 상기 각 유체 토출공 중 최후단 유체 토출공에 연결된 유체 토출관과, 상기 각 펌핑실의 일측에 구비되는 금속 다이어프램과, 상기 각 금속 다이어프램 일측에 접촉 구비되는 다수의 적층형 PZT와, 상기 각 적층형 PZT에 순차적으로 전계신호를 인가하여 상기 적층형 PZT의 변위를 일으켜 상기 유체 흡입공을 통해 흡입된 유체를 상기 유체 토출공으로 토출시키는 컨트롤러를 포함하여 구성되되, 상기 각각의 적층형 PZT는 중앙에 접촉 부재를 중심으로 방사형으로 배치되며, 상기 각각의 유체 펌핑실은 상기 방사형으로 배치된 각 적층형 PZT의 외측에 방사형으로 구비된다. 적층형 PZT, 압전펌프, 금속 다이어프램, 유체
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