특허보유현황
자가전원 기능을 갖는 MEMS 구조 인공와우의 주파수분석기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020070107649
출원일
2007-10-25
공개번호
1020090041893
공개일
2009-04-29
등록번호
1009322040000
등록일
2009-12-08
IPC 분류
G01R 23/02|A61F 2/18|H04R 25/00|B82Y 15/00
대표도면
요약
본 발명에 따른 자가전원 기능을 갖는 인공와우의 주파수 분석기는 하부 구조물 위에 상부 구조물이 적층되되, 상기 상부 구조물은, 제 1 기판; 및 상기 제 1 기판의 하측에 형성되고 그 하측이 톱니 형태로 이루어지고 백금으로 코팅된 나노 와이어 접촉부를 포함하여 이루어지고, 상기 하부 구조물은, 내측에 유체를 담을 수 있는 소정의 공간(공간부)이 형성되고 상측 일부가 개방된 구조로 이루어진 제 2 기판, 상기 제 2 기판의 공간부에 있는 유체 위에 형성되는 기저막, 상기 기저막 위에 형성되는 것으로, 다수개가 연속적으로 형성되되, 입력된 음파가 잘 전달될 수 있도록 제 1 전극간의 간격, 제 1 전극의 폭(w), 및 제 1 전극의 길이(L)를 각각 달리 적용된 제 1 전극, 상기 제 1 전극의 상측에, 임의의 방향으로 성장되는 압전 및 반도체 특성을 가지는 나노 와이어를 포함하여 이루어지며, 음파가 발생하면 이 음파가 하부 구조물의 공간부에 있는 유체를 유동시키기 위한 통로인 음파 입구를 더 포함하고, 상기 하부 구조물 위에 상부 구조물을 적층시킬 때, 하부 구조물의 나노 와이어가 상부 구조물의 나노 와이어 접촉부와 접촉되도록 하며, 음파가 발생하면 이 음파가 하부 구조물의 유체를 운동시키고, 이로 인해 음파의 특정 주파수 성분에 기저막의 특정 위치가 운동하며, 상기 기저막 상부에 있는 제 1전극과...(이하생략)
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