특허보유현황
초정밀 위치결정용 선형 2축 스테이지
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080008606
출원일
2008-01-28
공개번호
1020090082695
공개일
2009-07-31
등록번호
1009478570000
등록일
2010-03-09
IPC 분류
B23Q 5/28|G12B 5/00|B23Q 17/22|H02N 2/00|B23Q 16/00
대표도면
요약
본 발명은 초정밀 위치결정용 선형 2축 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이동프레임의 각 변에 두 개 이상씩 선형탄성체가 연결되고, 이 선형탄성체에 자체구동이 가능한 이중복합변위구동부와 이중복합선형스프링부를 각각 대응되도록 설치하여 이동프레임을 변위시키는 이중복합변위구동부에 의해 종래 별도의 구동메카니즘이 생략될 수 있어 설치지역에 제한이 없고, 설치공간을 감소시킬 수 있어 설치비용이 감소되며, 자체구동이 가능하여 구성이 간단함에 따라 휴대 및 이동이 용이하고, 이중복합변위구동부의 이동방향 변위확대에 의해 기생오차를 최소화시켜 이동프레임을 직선운동시킴에 따라 초정밀 부품을 초정밀하게 이동시킬 수 있어 작업의 효율성을 향상시킬 수 있다. 초정밀, 위치결정, 스테이지, 선형탄성체, 탄성힌지, 압전소자, 이중복합변위구동
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