특허보유현황
추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080008607
출원일
2008-01-28
공개번호
1020090082696
공개일
2009-07-31
등록번호
1009478580000
등록일
2010-03-09
IPC 분류
B23Q 5/28|B23Q 1/34|H02N 2/02|G05D 3/10|G12B 5/00|B23Q 16/00
대표도면
요약
본 발명은 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 초정밀 부품이 올려지는 출력플레이트를 이동시키는 제1변위구동부를 구비하고, 제1변위구동부와 반대로 작동되는 제2변위구동부를 구비하며, 출력플레이트가 직선이동되도록 안내하는 사이드플레이트 및 출력플레이트와 제1,2변위구동부, 출력플레이트와 사이드플레이트를 연결시키는 탄성힌지를 구비하여 제1변위구동부와 제2변위구동부가 출력플레이트에 추력 및 인력을 동시에 전달시켜 출력플레이트를 용이하게 직선변위 시킬 수 있고, 출력플레이트에 추력과 인력을 동시에 전달시키기 때문에 종래보다 변위 범위가 커져 대변위 구동이 가능하며, 제1변위구동부와 제2변위구동부에 의해 출력플레이트에 작용되는 힘이 배가되기 때문에 동특성을 향상시킬 수 있다. 초정밀, 추인력, 탄성힌지, 압전소자, 스테이지
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