특허보유현황
도금 장비용 웨이퍼 지그
출원인
한국기계연구원|재단법인 서울테크노파크
등록상태
등록
출원번호
1020080035289
출원일
2008-04-16
공개번호
1020090109851
공개일
2009-10-21
등록번호
1009811590000
등록일
2010-09-02
IPC 분류
C25D 17/00|H10P 72/10|H10P 72/76
대표도면
요약
본 발명은 도금 장비의 도금조 내에 웨이퍼를 위치시키되 내부 기밀성을 향상시켜 도금액의 침투를 방지하고 웨이퍼의 두께에 무관하게 이용할 수 있으며 조립 및 분해가 용이한 도금 장비용 웨이퍼 지그에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 도금 장비용 웨이퍼 지그는, 도금액이 저장된 도금조 내에 웨이퍼를 담지하고 웨이퍼를 통전시켜 웨이퍼에 도금을 수행하는 도금 장비용 웨이퍼 지그에 있어서, 후방에 통전을 위한 통전부가 연결되며 웨이퍼를 도금조 내에 위치시키는 원형의 헤드와, 상기 헤드 전방에 구비되고 상기 헤드에 연결된 통전부를 통해 통전되며 웨이퍼 장착을 위한 홈부가 형성된 원형의 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 전방에 구비되어 상기 베이스 플레이트와의 접촉을 통해 통전되고 웨이퍼 로딩 영역을 정의하는 홀을 갖는 링형 플레이트와, 상기 링형 플레이트의 홀에 삽입되며 웨이퍼가 로딩되도록 웨이퍼에 대응되는 형상을 가지는 더미 플레이트와, 상기 더미 플레이트와 상기 링형 플레이트와 상기 베이스 플레이트를 수용하도록 상기 헤드의 전방에서 상기 헤드와 결합되며 웨이퍼를 노출시키는 개방부가 형성된 원형의 커버와, 상기 베이스 플레이트의 전면 둘레와 상기 커버 내부 사이를 밀봉하는 제 1 실링 부재와, 상기 커버의 개방부 내측 둘레와 웨이퍼의 전면 둘레 사이를 밀봉하는 제 2 실링 부재와, 상기 커버의 제...(이하생략)
전문보기
기술이전 상담신청