특허보유현황
다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080035701
출원일
2008-04-17
공개번호
1020090110098
공개일
2009-10-21
등록번호
1009519220000
등록일
2010-04-01
IPC 분류
H10P 72/00|B05B 17/06|B08B 3/12
대표도면
요약
본 발명은 초음파를 이용한 웨이퍼 세정 장비의 진동자에 서로 다른 대역의 다중 주파수를 적용하여, 서로 다른 입자 크기를 가지는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 다중 주파수를 이용한 초음파 세정 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 다중 주파수를 이용한 초음파 세정 장치는, 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치와, 상기 피세정물과 대향하도록 구비되고 초음파 전달체와 상기 초음파 전달체에 구비되는 압전소자로 구성되어 초음파를 발생시키는 진동자를 포함하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 압전소자는; 적어도 둘 이상의 서로 다른 주파수로 구동되는 것이다. 주파수, 다중, 세정, 초음파, 압전소자, 진동자
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