특허보유현황
가변강성 기능을 가진 수직형 미세 접촉 프로브
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080042931
출원일
2008-05-08
공개번호
1020090117053
공개일
2009-11-12
등록번호
1009848760000
등록일
2010-09-27
IPC 분류
G01R 1/067|H10P 74/00
대표도면
요약
본 발명은 프로브 카드(probe card)에 사용되는 수직형 미세 접촉 프로브로서, 강성이 가변되는 가변강성 기능을 가지도록 만들어지는 수직형 미세 접촉 프로브에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 복수개의 단위 유닛들이 상하 방향으로 적층되어 형성된 기둥부와; 상기 기둥부의 선단에 형성되어 반도체 칩의 전극 패드와 접촉되는 선단부; 를 포함하며, 각각의 상기 단위 유닛은, 벨로우즈 형상을 가지도록 굴곡되어 있는 프로브 몸체와, 압축시 인접한 상기 프로브 몸체에 접촉되어 상기 프로브 몸체를 지지할 수 있는 가지 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직형 미세 접촉 프로브가 제공된다. 수직형, 미세 접촉 프로브, 가변강성, 단위 유닛, 벨로우즈(bellows), 가지 스프링(branch spring)
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