특허보유현황
미세 패턴 형성 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080053774
출원일
2008-06-09
공개번호
1020090127680
공개일
2009-12-14
등록번호
1010243760000
등록일
2011-03-16
IPC 분류
H10P 14/46|H10W 40/00|H10P 72/00
대표도면
요약
본 발명에 따른 미세 패턴 형성 방법은 미세 패턴을 보다 용이하게 형성할 수 있도록, 미세 패턴이 형성된 탄성중합체 판에 금속 박판을 부착하는 단계와, 상기 탄성중합체 판을 원통형 드럼에 부착하는 탄성중합체 스탬프 롤 형성 단계와 상기 미세 패턴에 도전성 잉크를 공급하는 잉크 공급 단계, 및 상기 탄성중합체 스탬프 롤을 기판과 맞닿도록 회전시켜 기판에 미세 패턴을 전사하는 미세 패턴 형성 단계를 포함할 수 있다. 미세 패턴, 유연성 기판, 탄성중합체, 도전성 잉크, 유기박막구동소자
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