특허보유현황
계층화 구조물 제조 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080096815
출원일
2008-10-01
공개번호
1020100037476
공개일
2010-04-09
등록번호
1010220170000
등록일
2011-03-07
IPC 분류
H10W 29/00|H10B 80/00|H10P 72/70
대표도면
요약
본 발명은 고성능의 미소유닛을 유연한 기판 상에 계층적으로 형성할 수 있는 대량 생산 제조장치인 계층화 구조물 제조 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 계층화 구조물 제조 장치는, 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서, 상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지; 및 상기 더미기판과 상기 타겟기판이 서로 압착되도록 상기 타겟기판을 감아 롤링시킴에 따라 상기 더미기판의 미소유닛이 상기 타겟기판에 적층되게 하는 메인롤러;를 포함하여 구성된다. 계층화, 구조물, 적층, 유연, 플렉서블
전문보기
기술이전 상담신청