특허보유현황
나노임프린트 리소그래피를 이용한 기판상의 금속선 패터닝방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080109720
출원일
2008-11-06
공개번호
1020100050699
공개일
2010-05-14
등록번호
1010150650000
등록일
2011-02-09
IPC 분류
H10P 76/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 적은 수의 제조 단계를 통하여 각종 회로나 플렉서블 디스플레이 등에 이용될 수 있는 금속선을 제조하기 위해서 나노임프린트 리소그래피를 이용한 기판상의 금속선 패터닝 방법에 관한 것으로, 절연 특징을 가지는 감광막을 기판 위에 도포하고 나노임프린팅을 수행하여 소정의 패턴을 형성하고 금속을 증착하여 다른 기판 상에 찍어 내는 것을 특징으로 하며, 이는 제조 공정이 상대적으로 간단하고 제조비용을 절감할 수 있게 하며 제조시간을 단축할 수 있게 할 뿐만 아니라 대량으로 생산할 수 있게 하는 효과를 제공한다. 나노임프린트 리소그래피, 기판, 나노 패턴, 금속선, 패터닝, 스탬프, 감광막
전문보기
기술이전 상담신청