특허보유현황
초음파 세정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020080112728
출원일
2008-11-13
공개번호
1020100053886
공개일
2010-05-24
등록번호
1010027060000
등록일
2010-12-14
IPC 분류
H10P 50/00|H10P 72/00|B06B 1/06
대표도면
요약
본 발명은 압전소자에서 발생된 초음파의 진행과정에서의 반사를 방지하여 효율적으로 초음파를 전달하며 최종 단부에서 발생하는 음압의 분포를 균일하게 하여 피세정물에 손상을 주지 않으면서 세정 효율을 높일 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 초음파 세정장치는 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치와, 초음파 전달체와 상기 초음파 전달체에 구비되는 압전소자로 구성되고 상기 피세정물과 대향하도록 구비되어 초음파를 발생시키는 진동자를 포함하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 초음파 전달체는; 상기 압전소자와의 결합부로부터 단부 방향으로 직경이 점차 증가한다. 세정장치, 초음파, 직경, 전달체, 니어필드, 파필드
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