특허보유현황
초음파 정밀세정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090023661
출원일
2009-03-19
등록번호
1009795680000
등록일
2010-08-26
IPC 분류
H10P 72/00|B08B 3/12
대표도면
요약
본 발명은 압전소자의 중심부에서 음압이 집중되지 않고 넓은 면적에 걸쳐서 균일한 음압이 발생하도록 하여 피세정물에 손상을 주지 않으면서 세정효율을 높일 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명 초음파 정밀세정장치는, 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치와, 세라믹과 세라믹의 상하부면에 각각 증착된 전극으로 구성되어 초음파를 발생시키는 압전소자와, 상기 압전소자의 단부에 결합되고 상기 피세정물과 대향하도록 구비되어 압전소자에서 발생하는 초음파를 피세정물에 전달하는 초음파 전달체를 포함하는 초음파 세정장치에 있어서, 상기 압전소자 또는 초음파 전달체의 중심에는 수직홀이 형성된 것이다. 초음파, 수직홀, 압전소자, 초음파 전달체, 음압 분포
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