특허보유현황
초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090026302
출원일
2009-03-27
공개번호
1020100107932
공개일
2010-10-06
등록번호
1010493810000
등록일
2011-07-08
IPC 분류
B23K 26/70|G02B 26/08|B23K 26/06|B23K 26/0622|B23K 26/03|B23K 26/073|G02B 26/10
대표도면
요약
본 발명은 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 레이저 가공 시 초음파를 사용하여 가공 대상물 또는 집광렌즈를 진동시킴으로써 가공 품질을 향상시키는, 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치를 제공함에 있다. 본 발명의 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치는, 펄스형 레이저를 발생시키는 레이저 발생부(10); 상기 레이저 발생부(10)에서 발생된 레이저의 경로를 스테이지(40) 상에 놓여진 대상물(200)을 향하도록 변경하는 편광판(20); 상기 편광판(20)으로부터 반사된 레이저를 집광하여 상기 대상물(200)을 향해 조사하는 집광렌즈(30); 를 포함하여 이루어지는 레이저 가공 장치(100)에 있어서, 상기 레이저 발생부(10)로부터 상기 대상물(200)까지의 레이저 경로 길이의 연장 및 단축이 반복적으로 이루어지도록 초음파 진동을 발생시키는 진동 발생부(50); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 레이저, 초음파 진동, 하이브리드 가공, 마이크로 홀(micro hole), 드릴링(drilling), 고세장비 (high aspect ratio), 가공 홀 내부면 평탄화, 펨토초 레이저(femtosecond laser), 레이저 정밀 가공(laser precision machining)
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