특허보유현황
3축 스테이지장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090035995
출원일
2009-04-24
공개번호
1020100117316
공개일
2010-11-03
등록번호
1010439250000
등록일
2011-06-17
IPC 분류
B23Q 1/25|B23Q 1/44|B23Q 1/76|B23Q 3/02|B23Q 3/18
대표도면
요약
본 발명은 3축 스테이지장치에 관한 것으로서, 베이스의 양편에 각각 구비되어 Y축 방향으로 직선 왕복이동되고 서로 마주하도록 경사진 경사면이 형성된 Y축 스테이지와; 상기 양 Y축 스테이지의 경사면에 접하여 Y축 스테이지의 직선 왕복이동에 의해 승강되는 Z축 스테이지와; 상기 Z축 스테이지 상에 구비되어 X축 방향으로 직선 왕복이동되는 X축 스테이지;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하여, 3축 스테이지장치의 크기 및 부피를 콤팩트화 할 수 있고, 다양한 산업분야에 고루 적용할 수 있게 된다. 3축, 스테이지, 리니어모터, 에어베어링, 자기예압, 압력유지
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