특허보유현황
롤 임프린트 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090042704
출원일
2009-05-15
등록번호
1009372110000
등록일
2010-01-08
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 유연성 패턴 플레이트의 장착이 가능한 패턴 롤을 구비한 롤 임프린트 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 임프린트 장치는, 롤 형상으로 감겨진 상기 유연성 기판을 회전하면서 공급하는 필름 롤과, 패턴 플레이트가 표면에 고정되어 회전하면서 상기 유연성 기판에 패턴을 전사하는 패턴 롤, 및 상기 유연성 기판을 사이에 두고 상기 패턴 롤과 인접하여 회전하는 가압 롤을 포함하여 유연성 기판을 연속적으로 이송하면서 임프린트 공정을 수행할 수 있으며, 이 때, 상기 패턴 롤은 내부에 히터가 장착되고, 상기 히터에 열전대가 연결되어 온도를 제어할 수 있다. 롤 임프린트, 히터, 패턴 플레이트, 패턴 롤, 가압 롤, 열전대, 플레이트 조임부
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