특허보유현황
광강도 변조방식의 런아웃 변위 측정 장치 및 방법과 이를 이용한 스핀들 모니터링 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090043172
출원일
2009-05-18
공개번호
1020100124097
공개일
2010-11-26
등록번호
1011024160000
등록일
2011-12-28
IPC 분류
G01B 11/14|G02B 6/122|G01J 1/44
대표도면
요약
본 발명은 회전체의 런아웃 변위를 측정하는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 특히 회전체의 런아웃에 의해 감광부에 발생되는 그림자 영역을 변동시키고, 이에 의해 상기 감광부에서 발생하는 전기적 신호의 변화를 측정하여 상기 회전체가 소형, 고속화되어도 용이하고도 정밀하게 상기 회전체의 런아웃을 측정할 수 있는 방법 및 장치와 이를 이용한 스핀들 모니터링 장치 및 방법에 관한 것이다. 런아웃, 스핀들, 감광부, 광강도 변조
전문보기
기술이전 상담신청