특허보유현황
기판 정렬 모듈 및 이를 구비하는 리소그래피 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090063435
출원일
2009-07-13
등록번호
1010055820000
등록일
2010-12-27
IPC 분류
H10P 76/00|H10P 72/00
대표도면
요약
기판과 스탬프의 위치를 정렬하고 정렬된 상태를 고정 및 유지시킬 수 있는 기판 정렬 모듈과 이를 구비하는 리소그래피 장치가 개시된다. 기판을 정렬하고 정렬된 기판 및 스탬프의 위치를 유지할 수 있는 기판 및 스탬프 모듈은, 기판이 장착되는 기판 홀더, 스탬프가 장착되는 스탬프 홀더 및 상기 스탬프 홀더 또는 상기 기판 홀더 중 일측에 구비되어 상기 기판과 상기 스탬프를 고정시키는 기판 고정부를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 기판 및 스탬프 모듈은 정렬된 기판을 고정시킨 상태로 기판 및 스탬프 모듈 자체가 이송 및 리소그래피 장치에 장착되어 리소그래피 공정이 수행된다. 임프린트 리소그래피(imprint lithography), 기판 및 스탬프 정렬
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