특허보유현황
기판 정렬 모듈 및 이를 구비하는 리소그래피 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090071614
출원일
2009-08-04
등록번호
1010055830000
등록일
2010-12-27
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
기판과 스탬프의 간격을 일정하게 유지하고, 정렬된 기판과 스탬프의 위치를 정밀하게 유지시킬 수 있는 기판 정렬 모듈과 이를 구비하는 리소그래피 장치가 개시된다. 기판과 스탬프 사이의 간격을 일정하게 유지하고 정렬된 기판 및 스탬프의 위치를 정밀하게 유지할 수 있는 기판 정렬 모듈은, 기판이 장착되는 기판 홀더, 상기 기판 홀더 상부에 구비되어 스탬프가 장착되고, 제1 홀더부와 상기 스탬프가 장착되고 상기 제1 홀더부에 대해 상하 선형 이동 가능하게 형성된 제2 홀더부와 상기 제1 홀더부와 상기 제2 홀더부 사이에 구비되어 상기 제2 홀더부의 선형 이동을 지지하는 가이드로 형성되는 스탬프 홀더, 상기 스탬프 홀더 또는 상기 기판 홀더 중 일측에 구비되어 상기 기판과 상기 스탬프를 고정시키는 기판 고정부 및 상기 스탬프 홀더 또는 상기 기판 홀더 중 일측에 구비되어 상기 기판과 상기 스탬프 사이를 선택적으로 이격시키는 스페이서부를 포함하여 구성된다. 임프린트 리소그래피(imprint lithograph), 기판 및 스탬프 정렬
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