특허보유현황
마이크로 구조물 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090077082
출원일
2009-08-20
공개번호
1020110019522
공개일
2011-02-28
등록번호
1010569920000
등록일
2011-08-09
IPC 분류
H10P 76/00|H10P 50/00
대표도면
요약
본 발명은 마이크로 구조물 제조방법에 관한 것으로서, 기판상에 상기 기판의 상면으로부터 돌출되는 마이크로 기둥 또는 상기 기판의 상면으로부터 함몰되는 마이크로 홀을 형성하는 패턴 형성단계; 상기 기판상에 액체층을 도포하는 액체층 도포단계; 상기 마이크로 기둥 또는 상기 마이크로 홀에 도포된 액체층의 표면 경사각 또는 곡면 형상을 조정하는 조정단계; 및 상기 액체층을 경화시키는 경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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