특허보유현황
나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법 및 LED 소자의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090082592
출원일
2009-09-02
등록번호
1009659040000
등록일
2010-06-16
IPC 분류
H10P 76/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명의 일 구현예에 따른 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법은, 기판에 감광성 금속-유기물 전구체 용액을 코팅하는 단계와, 요철구조를 가지도록 패턴된 몰드로 상기 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층을 가압하는 단계와, 상기 가압된 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층에 자외선을 조사하여 경화된 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 패턴된 몰드를 상기 금속 산화박막 패턴으로부터 제거하는 단계를 포함한다. 나노임프린트, 금속산화박막, 금속-유기물 전구체, 발광다이오드
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