특허보유현황
고밀도 자기-전기결합 나노복합체 후막 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090101276
출원일
2009-10-23
공개번호
1020110044543
공개일
2011-04-29
등록번호
1013683300000
등록일
2014-02-21
IPC 분류
H10N 30/85|H01L 41/20|H01L 41/35
대표도면
요약
본 발명은 고밀도 자기-전기결합 나노복합체 후막 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로 기판의 표면 일측에 압전 세라믹스와 자왜 세라믹스의 혼합 분말로 이루어진 세라믹소재를 상온 진공 분말 분사법(Room Temperature Powder Spray in Vacuum, 또는 AD; Aerosol-deposition)으로 진공 증착하여 압전 세라믹스 매트릭스 내에 자왜 세라믹스 상이 2D 연결성(connectivity)으로 분산되어 있는 3-2 구조의 압전 세라믹스-자왜 세라믹스 자기-전기결합 나노복합체 후막 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 상온 진공 분말 분사법(Room Temperature Powder Spray in Vacuum, 또는 AD; Aerosol-deposition)을 사용하여 강유전성 및 자기특성을 동시에 갖고, 고밀도로 치밀하게 성막되고, 균열 또는 기공형성이 나타나지 않고, 5 ㎛ 이상의 두께로 기판과의 박리 없이 건전하게 기판에 부착되고, 높은 자기-전기결합 계수를 갖는 고밀도의 3-2 나노복합체 후막을 제조할 수 있어, 경박단소화의 추세에 있는 전자제품 내의 박막/후막형 센서, 변환기, 에너지 하베스팅 장치, 전자기파 차폐 코팅 등에 응용될 수 있다. 자기-전기결합(magnetoelectric) 나노복합체 후막, 압전, 자왜, 상온 진공 분말 분사...(이하생략)
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