특허보유현황
롤 임프린트 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090102910
출원일
2009-10-28
등록번호
1009889350000
등록일
2010-10-13
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예는 코팅층에 대하여 패턴의 임프린트와 경화를 동시에 진행하여 기판의 패터닝 공정을 단순하게 하는 롤 임프린트에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 임프린트 장치는, 이송되는 기판 상에 임프린트 공정을 수행하도록 구성되고, 회전하면서 표면에 형성된 패턴을 상기 기판에 임프린트 하는 패턴 롤, 및 상기 기판을 사이에 두고, 상기 패턴 롤의 반대측에서 회전하면서 상기 기판을 가압하는 가압 롤을 포함하며, 상기 패턴 롤은, 내부에 공간을 가지고, 상기 패턴을 외표면에 구비하여 투명재로 형성되고, 상기 패턴된 부분 또는 상기 패턴들 사이 부분에 선택적으로 형성되는 자외선 차단층을 구비하는 실린더와, 상기 실린더의 공간에 설치되어, 자외선을 조사하는 UV램프를 포함한다. 롤, 임프린트, 투명, 퀄츠, UV 램프, 경화, 금속 물질층, 자외선 차단층
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