특허보유현황
임프린트장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090127883
출원일
2009-12-21
등록번호
1010055840000
등록일
2010-12-27
IPC 분류
H10P 76/00|B82B 3/00
대표도면
요약
적용범위를 확대시킬 수 있는 임프린트장치가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 임프린트장치는, 유연기판을 이동시켜 공급 및 회수시키는 기판유닛 및, 유연기판의 이동경로 상에 위치하여 유연기판에 일정 패턴을 전사시키는 전사유닛을 포함하며, 전사유닛은, 유연기판을 가압하는 가압부, 유연기판에 전사될 패턴을 구비하는 유연스탬프를 유연기판과 가압부의 사이로 진입시키는 스탬프부 및, 가압부와, 유연기판 및 유연스탬프를 사이에 두고 마주하도록 위치하여 가압부에 의해 유연기판에 가해지는 가압력을 유연기판의 이동방향으로 일정범위 지지함과 아울러, 유연기판을 경화시키는 경화부를 포함한다. 이러한 구성에 의하면 유연기판 상에 전사되는 패턴의 반복 주기를 연장시킬 수 있어, 광범위한 패턴 전사에 따른 적용분야 확대를 기대할 수 있게 된다. 임프린트, 기판, 조사, 경화, 전사, 가압, 길이, 유연기판, 유연스탬프.
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