특허보유현황
미세 이동 유닛을 이용한 마이크로 패터닝 장치와 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020090132583
출원일
2009-12-29
공개번호
1020110075999
공개일
2011-07-06
등록번호
1010930770000
등록일
2011-12-06
IPC 분류
H02N 2/00|H02N 2/04|H01L 41/09|B23Q 1/34
대표도면
요약
본 발명은 압전 액츄에이터를 이용하여 미소 변위를 발생시키는 한편 이를 이용하여 마이크로 스케일의 패터닝을 수행하는 장치 및 방법에 관련된 것으로서 특히 미세 이동은 상기 압전 액츄에이터에 의하되 가공물은 종래의 이송 스테이지에 의해 이송하여 가공 속도와 가공 정밀도를 동시에 향상시킬 수 있는 마이크로 패터닝 장치와 방법에 관련된 것이다. 압전 액츄에이터, 마이크로 패터닝, 리사주
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