특허보유현황
임프린트 리소그래피 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100020872
출원일
2010-03-09
공개번호
1020110101687
공개일
2011-09-16
등록번호
1010938200000
등록일
2011-12-07
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
단일 장치 내에서 다양한 크기의 스탬프 및 기판에 대해 스탬프와 기판의 위치이동을 비롯하여 스탬프와 기판의 가압, 가열, 및 자외선 조사가 가능한 임프린트 리소그래피 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 임프린트 리소그래피 장치는 스탬프가 장착되는 가압부 상판, 기판이 장착되는 복수의 가압부 하판, 상기 복수의 가압부 하판을 각각 구동시키는 복수의 가압구동장치, 자외선을 조사하는 자외선 장치, 그리고 기판을 가열하는 가열장치를 포함한다. 이와 같은 구성에 의하면, 단일 장치를 이용하여 다양한 크기의 스탬프 및 기판에 대해 가압과 가열, 또는 가압과 자외선 조사를 선택적으로 수행할 수 있다.
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