특허보유현황
병렬배치된 탄성힌지기반 증폭기구에 의한 압전소자 구동 초정밀 스테이지
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100032531
출원일
2010-04-09
등록번호
1010668470000
등록일
2011-09-16
IPC 분류
H02N 2/00|H02N 2/04|H01L 41/09
대표도면
요약
압전소자의 변위를 증폭시켜 대변위 구동이 가능하면서 동특성 또한 향상되는 압전소자 구동 초정밀 스테이지가 개시된다. 본 발명에 따른 압전소자 구동 초정밀 스테이지는 출력플레이트, 전압이 인가되면 길이방향으로 인장하는 추력용 압전소자와 상기 추력용 압전소자의 인장에 따라 일 방향으로 회전하는 추력용 연결플레이트를 포함하고 상기 출력플레이트에 추력을 발생시키는 추력용 변위확대부, 전압이 인가되면 길이방향으로 인장하는 인력용 압전소자와 상기 인력용 압전소자의 인장에 따라 상기 추력용 연결플레이트와 같은 방향으로 회전하는 인력용 연결플레이트를 포함하고 상기 출력플레이트에 인력을 발생시키는 인력용 변위확대부, 그리고 상기 추력용 변위확대부와 상기 인력용 변위확대부의 일단을 접촉 연결하는 입력플레이트를 포함하고, 상기 추력용 및 인력용 연결플레이트는 상기 입력플레이트와 상기 출력플레이트에 탄성힌지로 연결되어 상기 추력용 및 인력용 압전소자의 인장에 의해 상기 입력플레이트가 상기 인장의 방향으로 이동함과 동시에 변위되고 상기 입력플레이트의 이동에 따른 상기 탄성힌지의 변형에 의한 상기 추력용 및 인력용 연결플레이트의 회전으로 인해 상기 출력플레이트가 변위된다. 이와 같은 구성에 의하면, 압전소자의 인장에 의한 변위가 확대되어 출력플레이트에 전달되는바 대변위 구동이 가능해지고, 출력플레이트의 양쪽에 구비되는 변위...(이하생략)
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