특허보유현황
그라핀 맴브레인을 이용한 MEMS 마이크로폰과 그 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100045403
출원일
2010-05-14
등록번호
1010584750000
등록일
2011-08-16
IPC 분류
H04R 19/04
대표도면
요약
본 발명은 그라핀 맴브레인을 이용한 MEMS 마이크로폰과 그 제조방법에 관한 것으로, 그라핀 맴브레인부, 그라핀 맴브레인부에 대향하여 이격 배치되어, 그라핀 맴브레인부와 에어 갭을 형성하는 백 플레이트부를 포함한다. 이로써, 고민감도 및 적은 전압에서 작동할 수 있고, 주파수 영역이 넓어 가청주파수 및 그 이하 및 이상의 주파수 영역에서 음파를 측정할 수 있으며, 구조가 간단하고 대량 생산이 가능하게 된다.
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